薄膜
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三星：EUV薄膜透射率已达90% 计划提高至94-96%
【包小可新闻】据外媒消息，三星电子的极紫外（EUV）光刻技术取得了重大进展。近日，三星电子DS部门研究员Kang Young-seok详细介绍了该公司EUV技术的现状和未来。据包小可了解，三星使用的EUV薄膜的透射率已达到90%，并计划将其提高至94%-96%。EUV薄膜是半导体制造中光刻工艺所需的材料，薄膜充当保护层，防止异物带来缺陷。 三星 90…
【包小可新闻】据外媒消息，三星电子的极紫外（EUV）光刻技术取得了重大进展。近日，三星电子DS部门研究员Kang Young-seok详细介绍了该公司EUV技术的现状和未来。据包小可了解，三星使用的EUV薄膜的透射率已达到90%，并计划将其提高至94%-96%。EUV薄膜是半导体制造中光刻工艺所需的材料，薄膜充当保护层，防止异物带来缺陷。 三星 90…
